A 100/200 L-Serie von Pfeiffer Vacuum
Die A 100/200 L Serie von Pfeiffer Vacuum besteht aus drei mehrstufigen Wälzkolben-Vakuumpumpen. Sie liefern ein Saugvermögen von 100 bis 200 m³/h. Der beste Enddruck innerhalb der Baureihe beträgt 3 × 10⁻³ mbar.
Die Pumpen verdichten das Gas über mehrere Wälzkolbenstufen trocken bis auf Atmosphärendruck und kommen ohne separate Vorpumpe aus. Im Förderraum befindet sich kein Öl, sodass keine Schmiermitteldämpfe in den Prozess zurückströmen. Mehrstufige Wälzkolbenpumpen dieser Art sind vor allem in der Halbleiterfertigung, in Beschichtungsanlagen und an Schleusenkammern gebräuchlich.
Eine Tabelle mit den Kenndaten der drei Modelle schließt sich an diesen Text an. Näheres zu technischen Daten, Ausführungen und Zubehör finden Sie auf ehrler-beck.com. Ersatzteile und Wartungssätze für die A 100 L und A 200 L können Sie in diesem Shop anfragen.
