Für hohe Gasdurchsätze hat Pfeiffer Vacuum die UltiDry Serie im Programm, zwei mehrstufige Wälzkolben-Vakuumpumpen mit 1.800 und 3.000 m³/h Saugvermögen. Der niedrigste Enddruck beträgt 5,3 × 10⁻⁴ mbar, womit die Baureihe bis in den Feinvakuumbereich hinein arbeitet.
Beide Pumpen verdichten trocken, also ohne Öl im Förderraum, und erreichen ihr Saugvermögen durch das Zusammenwirken mehrerer Wälzkolbenstufen. Derartige Aggregate sind typischerweise in der Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarzellen zu finden, wo große Prozessgasmengen bei niedrigen Drücken abzuführen sind.
Unterhalb sehen Sie beide Modelle mit ihren Kenndaten in tabellarischer Form. Vollständige Daten, Ausführungen und Zubehör entnehmen Sie bitte ehrler-beck.com. Ersatzteile, Dichtungen und Wartungssätze für die UltiDry fragen Sie in diesem Shop an.
