Zwölf mehrstufige Wälzkolben-Vakuumpumpen umfasst die A4 Serie von Pfeiffer Vacuum. Soweit Werte vorliegen, reicht das Saugvermögen von 95 bis 1.650 m³/h. Der niedrigste Enddruck der Baureihe beträgt 3 × 10⁻³ mbar.
Die Baureihe arbeitet trockenverdichtend: Mehrere Wälzkolbenstufen fördern das Gas ohne Öl im Schöpfraum gegen Atmosphäre. Solche Pumpen sind auf anspruchsvolle Prozesse mit korrosiven Gasen oder Partikelanfall zugeschnitten, wie sie in der Halbleiter-, Display- und Solarfertigung beim Ätzen und Beschichten auftreten. Die Ausführungen H, H/X und XN sind auf unterschiedliche Prozessbedingungen abgestimmt.
Die Modelle und ihre verfügbaren Kenndaten stehen in der Tabelle unterhalb. Wo dort Angaben fehlen, helfen die ausführlichen Daten sowie die Varianten- und Zubehörübersichten auf ehrler-beck.com weiter. Ersatzteile, Dichtungen und Wartungssätze für A4 Pumpen fragen Sie über diesen Shop an.
Modèles de la série A4
| Modèle | Débit d’aspiration | Pression finale | Puissance nominale du moteur | En savoir plus |
|---|---|---|---|---|
| A 124 H | 95 m³/h | 0,05 mbar | – | En savoir plus |
| A 204 H/X | 130 m³/h | 0,2 mbar | – | En savoir plus |
| A 604 H | 480 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | – | En savoir plus |
| A 804 H/X | 600 m³/h | 8 × 10⁻³ mbar | – | En savoir plus |
| A 1204 H | 1.050 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | – | En savoir plus |
| A 1504 H/X | 1.100 m³/h | 8 × 10⁻³ mbar | – | En savoir plus |
| A 1804 H/X | 1.650 m³/h | 8 × 10⁻³ mbar | – | En savoir plus |
| A 1504 XN | 1.100 m³/h | 0,0145 mbar | – | En savoir plus |
| A 1804 XN | 1.600 m³/h | 0,0145 mbar | – | En savoir plus |
| A 3004 H/X | 3.000 m³/h | 4 × 10⁻³ mbar | – | En savoir plus |
| A 3004 XN | 2.900 m³/h | 4 × 10⁻³ mbar | – | En savoir plus |
| A 804 XN | 600 m³/h | 0,0145 mbar | – | En savoir plus |
