COBRA Semicon Serie von Busch
Für Prozesse der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie hat Busch die COBRA Semicon Serie entwickelt. Sie umfasst 22 trockene Schrauben-Vakuumpumpen mit einem Saugvermögen von 70 bis 7.385 m³/h; je nach Modell wird ein Enddruck von bis zu 1 × 10⁻³ mbar erreicht.
Zwei gegenläufige Schraubenrotoren verdichten das Gas berührungsfrei und ohne Betriebsmittel im Schöpfraum, sodass kein Öl in den Prozess gelangen kann. Die Baugrößen reichen von kompakten Pumpen für einzelne Prozesskammern bis zu Einheiten mit sehr hohem Saugvermögen, die kurze Abpumpzeiten bei großen Kammervolumen ermöglichen.
Welche Baugröße welches Saugvermögen und welchen Enddruck bietet, zeigt die Tabelle unten. Weitere Angaben zu jedem Modell finden Sie auf ehrler-beck.com; Ersatzteile und Verbrauchsmaterial für Ihre COBRA können Sie über diesen Shop anfragen.
Modelle der COBRA Semicon Serie
| Modell | Saugvermögen | Enddruck | Motornennleistung | Mehr erfahren |
|---|---|---|---|---|
| COBRA BA 0100 C | 85 m³/h | 0,01 mbar | 1,5 kW | Mehr erfahren |
| COBRA BC 0101 G | 90 m³/h | 0,01 mbar | 1,5 kW | Mehr erfahren |
| COBRA BC 0601 G | 550 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 3 kW | Mehr erfahren |
| COBRA BC 1001 G | 870 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 4,4 kW | Mehr erfahren |
| COBRA BC 1200 A | 1.200 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 5,5 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 0080 G | 70 m³/h | 0,03 mbar | 4 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 0160 G | 140 m³/h | 0,03 mbar | 5,5 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 0600 E | 600 m³/h | 0,01 mbar | 15 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 0700 G | 500 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 8 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 1000 G | 775 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 8 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 1200 A | 1.200 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 8 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 1800 A | 1.700 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 8,4 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 1800 A X | 1.700 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 10,6 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 2000 G | 1.365 m³/h | 3 × 10⁻³ mbar | 11 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 3010 G | 3.200 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 30 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 3161 C | 3.200 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 30 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 3181 C | 3.500 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 33,5 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 5161 B | 4.300 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 30 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 8161 F | 6.000 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 30 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 8162 F | 7.200 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 50 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 8163 B | 7.385 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 65 kW | Mehr erfahren |
| COBRA DS 9161 B | 6.220 m³/h | 1 × 10⁻³ mbar | 35 kW | Mehr erfahren |
